关于碳化硅坩埚的安装步骤总结两点：一、安装碳化硅坩埚前，必须先检查炉膛内部：炉壁和炉底应该是完好无损，没有金属或炉渣附着。如果炉壁或炉底附着水泥或炉渣，必须要进行清理。否则火焰的前进会受到阻碍而使火焰方向发生偏转，从而造成坩埚局部受热过度，在坩埚壁上发生氧化或产生小洞。
二、碳化硅坩埚的底部支撑：
1.安装碳化硅坩埚时，坩埚的底部支撑必须使用足够大的且圆柱形底座，底座的直径至少要与坩埚的底部相同，最好是略大2-3cm，且底座高度略高于出火口，从而防止火焰直接烧到坩埚底部。造成底部材料迅速被侵蚀，坩埚变成锥形，或由于坩埚底部受力不均而使坩埚开裂。 |
