等静压碳化硅坩埚的成型工艺,包括装料、加压、保压、卸压等过程。装料应尽量使粉料在模具中装填均匀,避免存在气孔;加压时应求平稳,加压速度适当;针对不同的粉体和坯体形状,选择合适的加压压力和保压时间;同时选择合适的卸压速度。
等静压
碳化硅坩埚所用到的等静压成型,是将待压物料经过密封后置于高压容器中,利用液体介质不可压缩的性质和均匀传递压力的性质从各个方向对物料进行均匀加压,当液体介质通过压力泵注入压力容器时,根据流体力学原理,其压强大小不变且均匀地传递到各个方向,因此高压容器中的粉料在各个方向上受到的压力是均匀的和大小一致的。采用上述方法使粉料致密成坯体的方法称为等静压成型。