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碳化硅坩埚的生产工艺
碳化硅坩埚
的生产工艺采用的是等静压成型,等静压成型是按照步骤一步一步进行的,过程包括1.初期成型压力较小时,粉体颗粒迁移和重堆积阶段。2.中期压力提高,粉体局部流动和碎化阶段。3.后期压力最大时,粉体体积压缩,排出气孔,达到致密化阶段。
碳化硅坩埚
的等静压成型的原理是将待压物料经过密封后置于高压容器中,利用液体介质不可压缩的性质和均匀传递压力的性质从各个方向对物料进行均匀加压,当液体介质通过压力泵注入压力容器时,根据流体力学原理,其压强大小不变且均匀地传递到各个方向,因此高压容器中的粉料在各个方向上受到的压力是均匀的和大小一致的。采用上述方法使粉料致密成坯体的方法称为等静压成型。
采用等静压成型的
碳化硅坩埚
的特点具有导热快,节省燃料,密度高,抗腐蚀性好,抗氧化性好,同时使用时间长。
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