碳化硅坩埚的使用技巧
1,搬运时必须使用搬运工具,不可在地面上滚动坩埚,避免磕碰,储存时要防止受潮,放在干燥处。
2,碳化硅坩埚在首次使用时一定要预热,要根据炉子的种类、熔化金属来进行预热的温度及时间的预判,通常情况下在不加料时,用30分钟将坩埚预热至200℃左右,并干燥60分钟,将表面的水分挥发掉,防止爆裂。
3,碳化硅坩埚经过预热后,应尽快迅速加热到900℃-1000℃,并保温20-30分钟,然后升到或降至需要熔化金属的温度,目的是为了快速通过氧化温度,减少氧化。
4,加热时注意不要将火焰直接对准坩埚,否则坩埚的底部会留下黑色的痕迹。
5,由于生产需要,要将碳化硅坩埚停炉是,需要暂时停止使用,应将里面的金属液清空。在清空时,可将里面的金属液倒入模具,形成锭料待以后使用。如果将金属液全部清理,将会在下次加热时因膨胀直接胀坏。 |