碳化硅坩埚属于石墨制品，为易碎品，在对其进行高温加热时如不进行预热其很容易破裂，原理就是我们在生活中取一个玻璃水杯，在常温的状态下，没有对其进行加热直接倒入温度很高的液体，就会出现破裂，这个现象在生活中是很常见的。对碳化硅坩埚进行预热烘干就是这个原因，就是为了避免出现这种情况。

  下面说下碳化硅坩埚怎样预热烘干：

(1)根据不同类型的坩埚炉，首次使用时，在不加料的情况下，用30分钟预热至200℃左右，并干燥60分钟。在这段时间内，坩埚要转动几次，使其均匀受热，目的使表面吸入的水分挥发掉，防止使用初期发生爆裂。

(2)经过预热后，应尽快将碳化硅坩埚加热到900℃-1000℃(2小时左右)，并保温20-30分钟，然后升到或降至工作温度。

(3)坩埚经过第一次预热后如果连续使用通常不需要再预热，除非再次受潮。

  对碳化硅坩埚预热烘干是非常重要的程序，大家在使用时条件允许可以将木柴放入里面点燃，然后在放入炉内加热，这样就可以完全避免出现受潮破裂的情况出现。